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高纯气体的常见杂质有哪些?
高纯气体的常见杂质有哪些? 常规杂质:h2, o2, n2, ar, co, co2, ch4, h2o 特殊杂质:颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染 杂质来源:原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染 环境带入:空气组分(o2, n2, ar, co2), 水分 生产装置,管路,充装装置带入:水分,金属元素,颗粒物,油份 生产工艺富集 包装污染 残气污染 包装本身带入污染:水分,金属元素,颗粒物 分解聚合污染 &更多
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