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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(cf4)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、 控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极 强,cf4 还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超 净和多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前 而言,cf4更多
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带你了解一下我国的电子气体
2018年全球集成电路用电子气体的市场规模达到45.12亿美元,同比增长16%,半导体用电子特气行业增速高,庞大的市场规模,让电子特气的国产替代计划全面加速! 什么是电子气体呢? 电子气体指的是用于半导体、平板显示、发光二极管、太阳能电池及其它电子产品生产的基础性源材料,被广泛的应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。电子气体的主要应用范围包括电子行业、太阳能电池、移动通讯、汽车导航及车载音像系统、航空航天、军事工业等诸多领域。 电子特气按其本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系更多
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、印刷电路生产中的去污剂等更多
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我国电子气体发展的三大难点!
电子气体是高科技产业重要的“源”资料,是集成电路制作过程中必不可少的要害支撑资料。据专业人士泄漏,中国半导体行业要实现从跟随走向引领的跨越,电子气体的打破一定会是最重要的一环。 半导体制作过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相堆积、分散等要运用大量的电子气体,且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。跟着集成电路制程节点不断缩小(已经走到10/7纳米),对电子气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。因此,集成电路技能快速发展,对电子气体的种类、数量、质量、安全性以及安稳更多
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电子气体国产化,为何难以实现?
广义的“电子气体”指电子工业生产中使用的气体,是重要原材料之一;狭义的“电子气体”特指半导体行业用的气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂等工艺,被称为半导体、平面显示等材料的“粮食”和“源”。 在硅片制造厂,一个硅片需要两到三个月的工艺流程,完成450道或更多的工艺步骤才能得到有各种电路图案的芯片。这个过程包括外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗、封装等诸多工序,需要的高纯电子化学气体及更多
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四氟化碳在微电子行业的应用
四氟化碳,又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉,附有油墨的电路上铜皮得以保留,之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控更多
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液氨废气该如何处理?
液氨整理加工过程有废气排出,其组成有水蒸气、空气和氨气,其中氨气是有害气体,影响健康污染环境,为此要减少排放,加强回收,一方面可降低成本,另一方面可保护环境。 氨的回收有吸收法,把来自液氨整理机排出的气体,通过管道输送至回收装置的洗涤塔(吸收塔),把混有空气的氨气在此塔内用水吸收成氨水,此时空气被清洗并排出塔外,然后通过蒸馏塔将氨和水分离,氨被蒸馏吸收制成浓氨水,浓氨水经精馏即成浓氨气,再将浓氨气经压缩机加压和冷凝冷却成液氨,最后输入贮存罐。更多
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必须get! 核磁管清洁方法介绍大全
核瓷管清晰的几种方法: 1.直接用带着清洗液的棉棒插入核瓷管进行清洗。这种方法洗的比较干净但是费时费力,而且非常容易划伤核磁管。 2.把核瓷管放入清洗液中,在超声波清洗器中清洗。这种方法优点就是快,大批量的清洗比较适宜。但个人感觉清洗质量不是很好。最好不要超声,即使你看见没碎也可能有了裂痕,那样可能会污染核磁仪的。 3.用专用的核磁管清洗器,核磁管多可以用五支管的,核磁管少的话可以用单支管的。这种方法清洗速度快,而且清洗的质量也不错。纽瑞德小更多
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高纯氩的作用及注意事项
高纯氩是主要的工业原料,也是最重要的工业气体和特种气体,在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。高纯氩的作用有很多,而且在使用的时候也有很多注意事项。下面谱源气体为大家介绍一些氩气方面的知识。 高纯氩的作用: 1、高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体。 2、可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体。 3、在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。 ; 4、高纯氩也可作为色更多
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氯化氢与氯气在ge(100)表面的吸附与热分解反应
氯化氢气体是一种腐蚀性的不燃烧气体,与水不反应但易溶于水,空气中常以盐酸烟雾的形式存在,主要用于电池、药品、染料、化肥、玻璃加工、金属清洗、有机合成、腐蚀照像、陶器制造、食品处理、无机氯化物制造等。最近有科学家正在探讨氯化氢气体与氯气在ge(100)表面的吸附与热分解反应,接下来就由纽瑞德特气小编月月为大家介绍一下。更多