电子特气:电子工业的“血液”-pg电子试玩网站免费
pg电子试玩网站免费-pg电子最新网站入口|pg电子试玩网站免费-pg电子最新网站入口|pg电子试玩网站免费-pg电子最新网站入口|网站地图欢迎光临武汉纽瑞德特种气体有限公司!

电子特气:电子工业的“血液”-pg电子试玩网站免费

全国服务热线:4006277838
纽瑞德感谢客户对其大力支持
当前位置:pg电子试玩网站免费-pg电子最新网站入口 » 纽瑞德资讯 » 气体指南 » 电子特气:电子工业的“血液”
文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-02-01 10:07:31【 】

电子特气:电子工业的“血液”

气瓶

电子气体是指专门用于电子半导体领域的一种工业气体,可分为电子大宗气体、

电子特种气体等。电子大宗气体是指半导体制造中消耗较大的气体,如氧气、

氮气、氩气、氢气、氦气和二氧化碳,主要用于环境气体、保护气体和载体,

一般采用现场气体生产模式。电子特种气体:指用于电子工业的气体,其质量

直接影响电子设备的成品率和性能。目前,半导体行业各环节使用的特种气体 

114 种类,常用的有 44 种类。主要包括三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、氨

等,一般采用液体和瓶装气体生产方式。
半导体制造涉及数千道工序,工艺极其复杂,需要数百种电子特种气体。电子

特种气体作为集成电路、显示面板等行业必不可少的支撑材料,广泛应用于清

洗、成膜、光刻、刻蚀、掺杂等工艺环节。
武汉纽瑞德梳理了清洗、成膜、光刻、刻蚀、掺杂等半导体制造过程中使用的

主要电子特种气体:
1:清洗是指芯片加工过程和化学或物理方法的化学或物理方法 cvd 清理反应

腔内附着的杂质和残留物是芯片制造中步骤最多的过程,主要清洗气体包括三

氟化氮。
2:成膜是指原料气体或蒸汽通过气相反应沉积一层金属、氧化物或氮化物的过

程。主要成膜气体包括六氟化钨、硅烷、笑气、氨等。
3:光刻是指利用化学反应通过涂胶、曝光、显影等工艺进行图形转移的技术工

艺。在光刻过程中,需要充入混合物。受高压刺激后,混合物会形成等离子体,

聚合过滤后固定波长的光会形成光刻机光源。主要混合物包括氩/氟/霓虹混合物、

氪/霓虹混合物、氩/霓虹混合物、氩/氙/霓虹混合物等。目前,乌克兰正在全球

范围内供应 70%的霓虹灯,40%的氪气和 30%的氙气。arf 氩/氟/霓虹混合气体

在准分子激光器中的比例为 95%,氪气主要用于光刻工艺,氙气主要用于半导

体刻蚀工艺。
4:腐蚀性气体用于有选择地从硅片表面去除不必要的光阻或光刻胶,其基本目

标是正确复制涂胶硅片上的掩模图形。腐蚀性气体主要是氟碳气体,如一氟甲烷

、二氟甲烷或三氟甲烷。此外,卤素气体也用于腐蚀过程,如氯化氢、溴化氢和

氯。
5:掺入半导体器件和集成电路制造中,掺入半导体材料,具有所需的导电类型

和一定的电阻率,主要掺入砷烷、磷烷、硼烷、三氟化硼等气体。
根据武汉纽瑞德气体公司市场分析,根据 techcet 数据, 2023 全球电子特气

市场规模 51 亿美元,2023-2025 年复合增速 8%。semi 数据显示,2023 年中国

电子特气市场规模 249 亿元,2023-2025 年将维持随着13%左右的快速增长,三

氟化氮、六氟化钨和六氟丁二烯是电子特气使用量最大的三种气体。



网站地图