电子气体国标发布，推动半导体制造发展
2024年上半年，国家标准委员会颁布了五项电子气体国家标准：gb/t4371-2024《电子气体一氧化碳》
gb/t 2024年3月15日颁布了4372-2024年电子气体二氧化碳和gb/t4373-2024年电子气体二氧化碳gb
t43762024《电子气体四氟甲烷》和gb/t4977-2024《电子气体八氟环丁烷》 2024年4月25日颁布，
2024年11月1日起正式实施。
电子气体是半导体工业中使用的关键材料，其质量和纯度直接影响芯片制造的效率和成品率。电子气体
在蚀刻、沉积、清洗等半导体制造过程中起着至关重要的作用。电子气体不仅是半导体制造的基本保证，
也是促进科技进步和产业发展的关键力量。它被广泛应用，包括晶圆制造、显示生产和太阳能电池，支
持许多高科技产业的发展。
气相色谱等分析仪主要用于检测电子气体的质量和纯度:
gb/t 4373-2024《电子气体基硫》
按照标准规定 gb/t 28726《气体分析-氨离子化气相色谱法》规定的切割取样方法，确定了硫中氢、氧
气、氮、一氧化碳、甲烷、硫化氢、二氧化硫和二硫化碳的含量。
gb/t 43976-2024电子气体四氟甲烷
按照标准规定 gb/t 28726《气体分析-氨离子气相色谱法》规定的切割（除）取样方法，确定四氟甲烷
中氢、氧 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟甲烷和三氟甲烷的含量。
gb/t 43977-2024《电子气体八氟环丁烷》
按照标准规定 gb/t 28726《气体分析-氨离子化气相色谱法》规定的切割（除）取样方法测定了氧 氩、
氮、一氧化碳、二氧化碳和六氟丙烯在八氟环丁烷中的含量。
gb/t 471-2024年电子气体 -氧化碳》
按照标准规定 gb/t 28726《气体分析-氨离子化气相色谱法》规定的一氧化碳中氢、氧 气、氮、二氧化
碳含量的方法。
gb/t 4372-2024《电子气体二氧化碳》
按照标准规定 gb/t28726《气体分析-氢离子气相色谱法》规定的二氧化碳中氢、氧 气、氮、一氧化碳
含量的切割进样方法。
