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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-03-06 09:40:53【 】

电子气体品质关乎半导体器件性能提升

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在集成电路、平面显示设备、太阳能等电子工业生产环节,从芯片生产到最终设备

包装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体,因此电子气体堪称电子制造的

“血液”。电子气体成本仅占ic材料总成本的5%-6%,但即使某一特定杂质超标,也

可能导致产品严重缺陷,甚至因不合格气体的扩散而污染或报废整个生产线。因此

,电子气体的质量在很大程度上决定了半导体设备的性能。每次电子气体纯度提高

一个数量级,都会极大地促进半导体设备质量的飞跃。

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影响电子气体纯度和质量的主要因素包括:气体生产和充装、气体混合和杂质监测

,以及气体的运输和储存。

气体的生产和充装

电子气体生产存在许多瓶颈,从原材料纯度到合成过程、温度和压力控制,再到净

化方法和分析方法,以及产品充装过程中杂质的控制,每个环节都会影响整个产品

的质量。

气体混合和杂质监测

对于混合气体,比例的精度是核心参数。随着产品成分的增加和制备精度的提高,

客户经常要求气体供应商对各种ppm甚至ppb浓度的气体成分进行精细操作,制备

过程的难度和复杂性也显著增加。此外,气体分析检测和杂质监测也提出了更高的

技术要求。

气体的运输和储存

在储运过程中,电子气体需要用优质的气体包装储运容器,以及相应的气体输送管

道、阀门和接口,以避免二次污染。

电子特种气体,包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、四氟环丁

烷、甲烷等气体。武汉纽瑞德特种气体公司是一家专业的气体公司,主要从事电子

特种气体的生产和销售。中国特种气体一站式供应商,品类齐全,库存大,现货供

应,可提供超纯电子气体。各种电子气体出口到福建、上海、重庆、杭州等地。欢

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